Молибденовая заготовка 35х40 мм МЧ

Для повышения стойкости Мо-ВП к высокотемпературному окислению до 1700 °C применяют покрытия. Эффективны покрытия на основе дисилицида молибдена (MoSi2), оксида алюминия (Al2O3), оксида циркония (ZrO2) или специальные стеклокерамические слои. Эти покрытия создают защитный барьер, предотвращая прямой контакт с кислородом.

Использование молибдена в кислородсодержащих средах при температурах выше 500 °C ограничено. Это связано с быстрым окислением молибдена с образованием летучего оксида (MoO3), что приводит к высокой скорости уноса материала и быстрому разрушению детали. Требуется защитная атмосфера или вакуум.

Срок службы молибденовых деталей в условиях постоянной вибрации могут снижать накопление усталостных повреждений и хрупкость. Также возможно образование микротрещин, которые распространяются под воздействием циклической нагрузки. Хрупкость при низких температурах (даже при комнатной) усугубляет этот эффект.

Остаточная деформация молибденовых деталей из Мо-МП после высокотемпературной обработки может привести к изменению микроструктуры. Это может включать рекристаллизацию и рост зерна, что, как следствие, снижает прочность и твердость, повышает пластичность. Также могут возникать внутренние напряжения, влияющие на долговечность.

Обработка поверхности молибдена существенно влияет на адгезию к керамическим материалам. Шероховатая или химически активированная поверхность (например, травлением) способствует улучшению адгезии за счет увеличения площади контакта и формирования химических связей. Чистота поверхности также играет ключевую роль в прочности сцепления.

Сопротивление усталости Мо-МП и Мо-1 при циклической нагрузке может быть сопоставимым. Однако Мо-МП, как правило, демонстрирует лучшую однородность и меньшее количество внутренних дефектов, что может приводить к более предсказуемому и в некоторых случаях более высокому сопротивлению усталости по сравнению с Мо-1 при длительных циклах нагружения.

Преимущества Мо-МП при изготовлении компонентов для производства полупроводников включают высокую чистоту, низкое содержание газов. Также важны стабильность размеров при высоких температурах, низкий коэффициент теплового расширения (близкий к кремнию) и отличная электропроводность, обеспечивающие надежность и производительность.